、率。与率是超精密加工永恒的主题。总体来说,固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度,精密加工工艺,而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性,但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工,但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法,成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。
高光洁磨削同样要求机床有很高的精度和刚性,磨削过程是用经精细修整的砂轮,使每个磨粒上产生多个等高的微切削刃,以很小的磨削深度,精密加工件,在适当的磨削压力下,从工件表面切下很微细的切屑加上微切削刃呈微饨状态时的滑擦,挤压、抚平作用和多次无进给光磨阶段的摩擦抛光作用,从而获得很高的加工精度和物理机械性能良好的高光洁表面。,采用精密加工工艺可提高工件的加工精度和表面质量。
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